TY - CHAP U1 - Konferenzveröffentlichung A1 - Rindfleisch, Christoph A1 - Wittmann, Jürgen A1 - Wicht, Bernhard ED - Forster, Gerhard T1 - Substratkoppeln in schnell schaltenden integrierten Leistungsendstufen T2 - MPC / Multi-Projekt-Chip-Gruppe Baden-Württemberg : Tagungsband zum Workshop der Multiprojekt-Chip-Gruppe Baden-Württemberg ; 52. Workshop on Microelectronics, 11. Juli 2014, Hochschule Künzelsau, Germany N2 - Durch schnell schaltende Leistungsendstufen werden durch kapazitive Umladeströme Störungen ins Substrat und in empfindliche Schaltungselemente eingekoppelt, die dort zur Störung der Funktion führen können. In dieser Arbeit werden Substratstrukturen zur gezielten Ableitung dieser Störungen vorgestellt und ihre Wirksamkeit mit Hilfe von Device Simulation evaluiert. Ohne Ableitstrukturen kann eine Potentialanhebung des Substrats bis zu 20 V entstehen. Die Untersuchungen belegen, dass die Potentialanhebung durch p-Typ Guard-Ringe um 75 %, durch leitende Trenches um 88 % sowie durch Rückseitenmetallisierung um nahezu 100 % reduziert werden kann. KW - Substratkoppeln KW - Störeinkopplung KW - Leistungsendstufe KW - High-Side Transistor Y1 - 2014 U6 - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:rt2-opus4-4206 UN - https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bsz:rt2-opus4-4206 UR - https://www.mpc-gruppe.de/workshopbaende SN - 1862-7102 SS - 1862-7102 SP - 15 EP - 19 S1 - 5 PB - Hochschule Ulm CY - Ulm ER -