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Due to the lack of sophisticated component libraries for microelectromechanical systems (MEMS), highly optimized MEMS sensors are currently designed using a polygon driven design flow. The advantage of this design flow is its accurate mechanical simulation, but it lacks a method for analyzing the dynamic parasitic electrostatic effects arising from the electric coupling between (stationary) wiring and structures in motion. In order to close this gap, we present a method that enables the parasitics arising from in-plane, sensor-structure motion to be extracted quasi-dynamically. With the method's structural-recognition feature we can analyze and optimize dynamic parasitic electrostatic effects.
This book covers the fundamental knowledge of layout design from the ground up, addressing both physical design, as generally applied to digital circuits, and analog layout. Such knowledge provides the critical awareness and insights a layout designer must possess to convert a structural description produced during circuit design into the physical layout used for IC/PCB fabrication.
Dieses Buch vermittelt die grundlegenden Kenntnisse für den Layoutentwurf digitaler und analoger Schaltungen. Neben den ingenieurwissenschaftlichen Grundlagen werden auch Werkzeugaspekte behandelt. Das Werk befähigt Ingenieure, einen Schaltplan oder eine Netzliste in eine Layoutdarstellung zur Fertigung eines integrierten Schaltkreises (IC) oder einer Leiterplatte umzusetzen. Nach einer einleitenden Übersicht zu Fertigungstechnologien, Besonderheiten der Mikroelektronik und den Aufgaben des Layoutentwurfs behandelt Kap. 2 zunächst die technologischen Grundlagen der IC-Fertigung. Darauf aufbauend werden nachfolgend alle Aspekte des Layoutentwurfs vertieft: Schnittstellen, Entwurfsregeln und Bibliotheken (Kap. 3), Entwurfsstile, -modelle und -flüsse (Kap. 4), Entwurfsschritte (Kap. 5), Besonderheiten des analogen IC-Entwurfs (Kap. 6) und schließlich Zuverlässigkeitsmaßnahmen (Kap. 7). Das Buch eignet sich als Lehrbuch in den Ingenieurwissenschaften und als Nachschlagewerk für Schaltungs- und Layoutentwickler in der Industrie.